铜及铜合金HN03-H3P04-CH3COOH累列化学抛光工艺
2.3 HN03-H3P04-CH3COOH累列化学抛光工艺
硝酸一磷酸一醋酸型化学抛光铜及铜含金的典型工艺列于表2中。它是由巴特尔研究所( The Bat-telle Memorial Institute)开发成功的铜与铜合金的化学抛光液。其工艺范围为：30%一80%正磷酸，10%一50%冰醋酸，5%~20%硝酸，0 N10%水。
对于不同的铜合金，如CL,—Zn以外的Cu-8% Al， Cu-0. 5% Be.Cu-5alo .Al-2ty/o Si等合金，只要在此范围内适当改变比例，均可获得良好的抛光效果。若在硝酸一醋酸体系中加入重铬酸钾和氯化铜(见表2配方13)，则可用于蒙乃尔合金(一种高强合金)的抛光。
若在硝酸一磷酸一醋酸体系中，将1/3量的冰醋酸用硫酸取代，则可用于通常难以抛光的高锡(WS。>5%)青铜(CuSn合金)的化学抛光。
硝酸一磷酸一醋酸系列化学抛光铜及其合金工艺
