多晶铜膜纳米压入蠕变性能

多晶铜膜纳米压入蠕变性能

　　王 飞， 徐可为

　　( 西安交通大学 金属材料强度国家重点实验室，西安 710049)

　　摘 要: 在JGP560V磁控溅射镀膜设备上镀制多晶铜膜，利用纳米压入技术测量了其室温下的蠕变性能。 结果表明： 由于不同加载方式下， 材料加工硬化程度的不同造成了应力指数的差异， 因而， 不同加载方式对测得的铜膜蠕变应力指数有比较大的影响;由于材料在高载荷时在压头下端产生更多的位错， 阻碍了压头的压入， 使蠕变率降低， 因而， 随着保载载荷的升高， 蠕变应力指数变大。