高纯铜溅射靶材的发展及现状

高纯铜溅射靶材的发展及现状

　　摘要：简要介绍了高纯铜溅射靶材目前的市场情况、现状、应用领域和未来高纯铜溅射靶材发展趋势;并对高纯铜溅添添射靶材的特性要求以及微观组织控制做了简单的阐述。