沉铜常见坏点分析及处理
序号
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坏点
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原因分析
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解决方法
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1
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背光不合格
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1、缸温不正常
2、药水浓度不正常
3、缸液受污染
4、板材问题,如TG偏低
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1、测量各缸温度,及时调整,至正常
2、分析铜缸及前处理缸药水浓度,对有偏差调整至正常
3、对受污染缸进行换缸处理
4、测量除胶速率,根据测试结果调整除胶及膨胀缸温
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2
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孔开
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1、振荡弱及振荡不足
2、循环量不够,孔壁内润湿不均匀
3、沉积速率低,沉铜层偏薄
4、缸中液位不足。板子外出
5、挂具不当,引起叠板
6、活化程度不够
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1、维修振荡器,加大进气压
2、更换大功率的循环泵,提高循环量
3、适当升高铜缸温度,提高沉积速率
4、及时检查,保持液位正常
5、改善挂具,加强操作
6、检查活化浓度、温度是否不够。
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3
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离层
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1、孔内胶渣过多
2、板料问题
3、除胶速率偏低,或 除胶过度
4、除胶缸中副产物太多
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1、改变钻孔参数,减少胶渣
2、采用不同板料试验,对比效果
3、根据不同板料TG,试验不同除胶条件
4、改善再生系统,必要时换新缸液。
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4
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铜缸不稳定
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1、铜缸浓度太高
2、负载不当
3、缸液受污染
4、铜缸温度过高
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1、适当排去部分缸液降低浓度并加稳定剂
2、不宜超过槽液最大负载密度通常为
370CM2/L。
3、检查是否有板掉入缸中,及加大水洗,定期清洗挂架清除钯元素
4、检查冷却系统是否正常
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5
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塞孔、披锋
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1、孔壁内有胶渣或杂物
2、水洗缸中有杂物
3、板料问题
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1、改善钻孔条件减少孔内杂物
2、定期清洁水洗缸
3、调整钻孔参数,改变除胶条件
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6
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磨板过度
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1、磨轮压力调校不当
2、磨板过程中阻板
3、磨辘磨过头
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1、重新调校磨轮压力,测试磨痕
2、检查磨板机传动是否正常
3、更换新磨辘
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